报道科技成果切莫变成“自嗨文”  

作　　者：赵永新 

机构地区：[1]不详

出　　处：《发明与创新（大科技）》2018年第12期6-6,共1页

摘　　要：研发人员介绍,这台22纳米分辨率光刻机在加工大口径薄膜镜、超导纳米线单光子探测器等纳米功能器件上具有明显优势。但是,这台光刻机要想应用于芯片,还要攻克一系列技术难题,距离还相当遥远。

关 键 词：科技成果 纳米分辨率 单光子探测器 功能器件 光刻机 大口径 纳米线 

分 类 号：TP212.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]