单晶炉等径控制方法  

作　　者：耀飞黔 

出　　处：《LSI制造与测试》1992年第6期10-15,共6页

关 键 词：半导体材料 单晶拉制 单晶炉 控制 

分 类 号：TF806.9[冶金工程—有色金属冶金]