拉制大直径区熔Si单晶用的晶体支持器  

作　　者：李留臣 马学陶 

出　　处：《LSI制造与测试》1992年第6期40-42,共3页

关 键 词：半导体材料 单晶炉 单晶拉制 

分 类 号：TF806.9[冶金工程—有色金属冶金]