用平衡和非平衡磁控管溅射制备的装饰性硬涂层  

作　　者：卫冰 

出　　处：《等离子体应用技术快报》2000年第12期1-4,共4页

关 键 词：平衡磁控管 非平衡磁控管 磁控溅射 制备 装饰性硬涂层 

分 类 号：TG174.44[金属学及工艺—金属表面处理]