利用可控等离子体势辉光放电源进行PⅢ  

作　　者：蓉佳 

出　　处：《等离子体应用技术快报》2000年第12期7-8,共2页

关 键 词：等离子体源 离子植入 等离子体加工 蚀刻 等离子体势 辉光放电源 PⅢ 清洗 

分 类 号：TG174.442[金属学及工艺—金属表面处理] TN305.7[金属学及工艺—金属学]