带集成紫外滤光片的背照式CCD器件  

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作  者:高国龙 

出  处:《红外》2002年第10期42-42,共1页Infrared

摘  要:美国喷气推进实验室的研究人员目前正在研制一种带δ掺杂和集成光学滤光片的减薄型硅CCD器件,这种CCD器件为背照式器件,它将被用作在紫外波长范围内工作的成像探测器.

关 键 词:背照式CCD器件 电荷耦合器件 Δ掺杂 集成紫外滤光片 

分 类 号:TN386.5[电子电信—物理电子学]

 

参考文献:

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