HADS产品DCS不良PECVD工艺改善研究  

作　　者：杨蕾 金哲山 刘晓婷 胡毓龙 李素哲 郭文杰 

机构地区：[1]北京京东方显示技术有限公司

出　　处：《电子世界》2019年第15期22-23,共2页Electronics World

摘　　要：随着HADS产品需求的增加,大批量生产中DCS不良问题极大影响了产品良率。HADS产品产生DCS线不良的主要原因为PVX镀膜及曝光工艺中,PVX膜层Particles及PVX Open导致Data线与Com电极导通。本文针对PVX PT导致的DCS不良,从PECVD PVX镀膜前清洗工艺和PVX镀膜方式来改善DCS。结论表明,PVX清洗单元安装PVA上毛刷及增加HPMJ压力至110bar可使DCS中PVX PT占比降低12.3%;PVX分两次镀膜方式可使DCS下降40%。

关 键 词：清洗工艺 工艺改善 DCS PVX PECVD 镀膜 

分 类 号：S43[农业科学—农业昆虫与害虫防治]