多晶硅生产过程中硅烷废气的处理  

作　　者：唐伟博 徐李强 王飞行 

机构地区：[1]陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司,陕西榆林719000

出　　处：《化工管理》2019年第26期59-60,共2页Chemical Engineering Management

摘　　要：文章主要介绍了如何通过碱液淋洗工艺对于在硅烷流化床法生产多晶硅的过程中所产生的硅烷废气进行无害化处理以满足环保要求。

关 键 词：多晶硅 硅烷流化床法 硅烷废气 碱液淋洗 环保 

分 类 号：F42[经济管理—产业经济]