四氯化硅冷氢化技术研究进展  

Progress in research of the cold hydrogenation of silicon tetrachloride

作　　者：沈峰 陈其国[1] 潘维杰 SHEN Feng;CHEN Qi-guo;PAN Wei-jie(Jiangsu Zhongneng Polysilicon Technology Development Co.,Ltd.,Xuzhou 221004,China)

机构地区：[1]江苏中能硅业科技发展有限公司

出　　处：《中国氯碱》2019年第9期18-21,共4页China Chlor-Alkali

摘　　要：综述了冷氢化法制备三氯氢硅中四氯化硅反应机理、反应条件、催化剂、无水氯化氢和能量综合利用的最新进展。New progress of the reaction mechanism,reaction conditions,catalysts,anhydroushydrogen chloride and thecomprehensive utilization of the energy of the cold hydrogenation process are presented.

关 键 词：四氯化硅 三氯氢硅 多晶硅 冷氢化 

分 类 号：TQ264.11[化学工程—有机化工]