基于SOI原理的特种车辆用压力传感器的研制  

作　　者：金琦[1] 孙晓峰 李广恒 李斌 王静 

机构地区：[1]沈阳仪表科学研究院有限公司

出　　处：《电子世界》2019年第21期147-148,共2页Electronics World

摘　　要：1.引言车辆发动机进气歧管内压力,通过专用的压力传感器测量,并通过放大电路将其转换成标准电压信号,传输到车辆控制系统,从而达到控制喷油量的作用,保证发动机正常工作。该压力传感器的核心芯片采用SOI材料,利用微电子技术和集成电路工艺结合制作,并且静态性能和温度性能均满足产品技术要求;在产品结构方面,采用全固态、硬密封、小型化设计,使产品满足特种车辆高强度环境适应性的要求。

关 键 词：压力传感器 温度性能 产品技术要求 集成电路工艺 特种车辆 车辆发动机 SOI材料 静态性能 

分 类 号：TP2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]