半导体设备真空泵常见故障分析及维修  

作　　者：刘豪 张强 赵志昊 丁文杰 

机构地区：[1]重庆声光电有限公司,重庆400060

出　　处：《设备管理与维修》2020年第5期44-45,共2页Plant Maintenance Engineering

摘　　要：介绍半导体真空设备使用的常见真空泵,归纳总结几种典型的真空泵常见故障原因和处理办法。

关 键 词：半导体设备真空泵 设备维修 故障分析 旋片泵 分子泵 低温泵 

分 类 号：TB752[一般工业技术—真空技术]