4项国家重大科学仪器设备开发专项项目顺利通过验收  

出　　处：《铁道技术监督》2020年第1期59-59,共1页Railway Quality Control

摘　　要：近日,由国家市场监督管理总局组织实施的“跨尺度微纳米测量仪的开发和应用”“质子转移反应质谱仪器研制及应用示范”“铯原子喷泉基准钟的开发和应用”“微膜泵驱动核酸微全分析仪”4项国家重大科学仪器设备开发专项项目通过验收。“跨尺度微纳米测量仪的开发和应用”项目由上海市计量测试技术研究院牵头承担,项目攻克了宏微联动多轴驱动和多测头集成、原子沉积光栅纳米量值溯源、双角度倾斜式场扫描等关键技术,研制出6种不同型号的跨尺度微纳米测量仪,测量范围达到150 mm×150 mm×80 mm,纳米计量光栅标准节距(212.8±0.1)nm,光栅高度大于60 nm,光干涉测量垂直扫描范围150μm,扫描速度30μm/s,扫描探针显微测量可以实现纳米级分辨力。

关 键 词：市场监督管理 科学仪器设备 质子转移反应质谱 计量光栅 光干涉测量 量值溯源 显微测量 场扫描 

分 类 号：TH70-2[机械工程—仪器科学与技术]