检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
机构地区:[1]新加坡国立大学工学院 [2]厦门大学航空航天学院
出 处:《中国科学:物理学、力学、天文学》2020年第3期1-2,共2页Scientia Sinica Physica,Mechanica & Astronomica
摘 要:由于激光突出的单色性、高亮度、高方向性和相干性等特点,经过多年的研宄发展,激光先进制造技术经历了以激光打标、激光表面处理、激光切割、激光打孔和激光焊接等为代表的激光宏观制造技术,以激光精密切割、激光精密钻孔和激光烧蚀等为代表的激光微细加工技术,和以激光制备纳米颗粒、激光诱导表面微纳米结构、干涉光刻和近场纳米制造为代表的激光微纳加工技术等多个发展阶段,覆盖了从毫米到纳米的不同加工尺度,在现代先进制造业中发挥着越来越重要和广泛的作用.
关 键 词:微纳加工技术 微纳米结构 干涉光刻 激光诱导 激光表面处理 纳米制造 激光打标 激光切割
分 类 号:TN24[电子电信—物理电子学]
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