干涉光刻

作品数：74被引量：162H指数：7
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相关领域：电子电信机械工程理学更多>>
相关作者：张锦王作斌冯伯儒罗先刚翁占坤更多>>
相关机构：中国科学院长春理工大学苏州大学四川大学更多>>
相关期刊：《Optoelectronics Letters》《池州学院学报》《电脑爱好者》《光学精密工程》更多>>
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激光干涉诱导向前转移制备银微点及SERS特性研究
《中国激光》2024年第16期296-304,共9页申惠娟 翁占坤 李昌立 邓锂强 韩太坤 
国家自然科学基金面上项目(62175019);广东省科技计划项目(X220961UZ230);茂名市科技计划项目(2023012);广东石油化工学院校级科研项目(博士启动类)(2023bsqd2009)。
表面增强拉曼散射(SERS)技术在痕量检测等领域中具有重要的作用,制备周期性微纳结构,构建表面等离子体耦合体系,是当前实现高性能SERS基底的主要方法之一。鉴于传统周期性微纳制备技术成本高、效率低等不足,提出了激光干涉诱导向前转移(...
关键词：激光技术 激光干涉光刻 激光诱导向前转移 Ag微点结构 表面增强拉曼散射特性 
基于电介质波导耦合的超分辨干涉光刻研究
《中国激光》2024年第12期409-414,共6页李小甜 张文鹏 周毅 温中泉 陈刚 梁高峰 
国家自然科学基金(62275036,61927818,62105276);重庆市自然科学基金(cstc2020jcyj-msxmX0428)。
基于电介质波导耦合理论,本课题组提出了一种超分辨干涉光刻方法。该方法通过构建非对称波导实现了倏逝波的增强传输和干涉调控。同时,通过优化设计电介质光栅,利用波导耦合效应,形成了单一衍射级次的选频传输,获得了光场强度大、均匀...
关键词：波导 电介质光栅 超分辨 干涉光刻 
基于傅里叶变换光学系统的动态多光束干涉光刻被引量：2
《光学学报》2023年第8期265-277,共13页叶燕 马亚骐 宋志 路畅 许宜申 陈林森 
国家自然科学基金(62075149,61575132);江苏省自然科学基金(BK20201406);江苏省高校优势学科建设(PAPD)。
变参量微纳结构在二维平面内交叉、分段排布可以实现超表面器件的多路复用和多功能集成。为实现交叉、分段变参量微纳结构的干涉制备,提出了孔径光阑与相位元件联合调制的傅里叶变换光学系统。利用透镜的傅里叶变换特性和相位元件衍射...
关键词：光学设计 相位调制 4f光学系统 空间变参量 干涉光刻 
基于深紫外激光器的大面积干涉光刻装置研究被引量：1
《上海理工大学学报》2022年第6期540-545,共6页张岭 胡海峰 顾亮亮 詹其文 
上海市科委部分地方院校能力建设项目(19060502500)。
搭建了基于266 nm波长深紫外光源的干涉光刻装置,使用平顶光整形器将高斯光整形成平顶光束,在硅基底上制备出面积为8.9 mm×25.4 mm、周期为407 nm的一维光栅结构图形和周期为860 nm的二维孔洞结构。使用扫描电子显微镜(SEM)测量了平顶...
关键词：激光干涉光刻 平顶光 深紫外激光 光栅结构 微纳加工 
恒光强扫描干涉光刻条纹锁定系统设计被引量：1
《光学精密工程》2022年第8期938-947,共10页王磊杰 罗伟文 张鸣 朱煜 
02国家重大科技专项资助项目(No.2018ZX02101003)。
为提高扫描干涉光刻机的加工效率和加工精度、扩大加工范围、降低维护成本,提出了一种可实现干涉条纹周期、方向和相位同步实时调节控制的扫描干涉光刻机系统方案,并着重介绍了最为关键的恒光强干涉条纹相位锁定系统的设计。首先,介绍...
关键词：扫描干涉光刻 条纹锁定 外差相位测量干涉仪 
相位调制实现变参量光栅结构的干涉光刻被引量：1
《光学精密工程》2022年第15期1836-1844,共9页路畅 许峰川 许宜申 陈林森 叶燕 
国家自然科学基金资助项目(No.62075149,No.61575132);江苏省自然科学基金资助项目(No.BK20201406);江苏省高校自然科学研究基金资助项目(No.21KJD510003);江苏省高校优势学科建设(No.PAPD)。
几何相位的超表面透镜不同于传统折射透镜,相位波前的调制并不依赖于传播过程的累积相位,而是通过空间变化的单元结构改变局域偏振态,引入共轭的附加相位使光束聚焦。为了实现几何相位超透镜变参量结构的干涉制备,提出了空间变参量相位...
关键词：干涉光刻 4f光学系统 空间变参量 相位调制 
上海光源极紫外光刻胶检测平台
《应用化学》2021年第9期1168-1174,共7页赵俊 杨树敏 薛超凡 吴衍青 陈宜方 邰仁忠 
国家重点研发计划(Nos.2017YFA0206001,2016YFA0401302,2017YFA0403400);国家自然科学基金项目(No.11775291,11875314)资助。
极紫外光刻技术作为下一代光刻技术,被行业赋予了拯救摩尔定律的使命。极紫外光刻胶是极紫外光刻技术的核心子技术之一,其分辨率、粗糙度、灵敏度以及放气情况等指标的检测是开展极紫外光刻胶研发的必要条件和实现极紫外光刻胶配方优化...
关键词：极紫外 光刻胶检测 干涉光刻 
单体大尺寸高精度全息光栅制造技术综述被引量：6
《光学精密工程》2021年第8期1759-1768,共10页王磊杰 张鸣 朱煜 
国家重大科技专项资助项目(No.2017ZX02102004,No.2018ZX02101003)。
单体大尺寸高精度全息平面光栅是高端浸没式光刻机、惯性约束核聚变等高端装备和重大工程的核心器件,制造难度极高。本文综述了单体大尺寸高精度全息平面光栅的主要制造技术,介绍了基于单次大尺寸干涉光刻技术和干涉光刻步进拼接技术的...
关键词：全息平面光栅 扫描干涉光刻 条纹锁定 栅距/方向/相位控制 
扫描干涉光刻系统光路结构误差分析与验证被引量：2
《仪器仪表学报》2020年第10期111-120,共10页张敏骏 张鸣 朱煜 
国家重大科技专项(2018ZX02101003);国家自然科学基金(51677104)项目资助
扫描干涉光刻(SBIL)是实现大面积高精度全息光栅制作的新技术,为实现纳米级干涉条纹精度,左右两侧曝光光路的对称性十分关键,为准确计算曝光光路空间对称性与光学元件结构及安装误差之间的关系,提出了一种基于三维空间向量映射法的SBIL...
关键词：扫描干涉光刻 光路结构误差 空间向量映射 紧凑型SBIL光路 干涉条纹误差 
激光先进制造专题·编者按
《中国科学：物理学、力学、天文学》2020年第3期1-2,共2页洪明辉 周锐 
由于激光突出的单色性、高亮度、高方向性和相干性等特点,经过多年的研宄发展,激光先进制造技术经历了以激光打标、激光表面处理、激光切割、激光打孔和激光焊接等为代表的激光宏观制造技术,以激光精密切割、激光精密钻孔和激光烧蚀等...
关键词：微纳加工技术 微纳米结构 干涉光刻 激光诱导 激光表面处理 纳米制造 激光打标 激光切割 
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