激光干涉光刻

作品数：18被引量：50H指数：5
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相关作者：王作斌翁占坤宋正勋冯伯儒张锦更多>>
相关机构：长春理工大学中国科学院四川大学苏州大学更多>>
相关期刊：《中国科技论文》《长春理工大学学报（自然科学版）》《上海理工大学学报》《中国激光》更多>>
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激光干涉诱导向前转移制备银微点及SERS特性研究
《中国激光》2024年第16期296-304,共9页申惠娟 翁占坤 李昌立 邓锂强 韩太坤 
国家自然科学基金面上项目(62175019);广东省科技计划项目(X220961UZ230);茂名市科技计划项目(2023012);广东石油化工学院校级科研项目(博士启动类)(2023bsqd2009)。
表面增强拉曼散射(SERS)技术在痕量检测等领域中具有重要的作用,制备周期性微纳结构,构建表面等离子体耦合体系,是当前实现高性能SERS基底的主要方法之一。鉴于传统周期性微纳制备技术成本高、效率低等不足,提出了激光干涉诱导向前转移(...
关键词：激光技术 激光干涉光刻 激光诱导向前转移 Ag微点结构 表面增强拉曼散射特性 
基于深紫外激光器的大面积干涉光刻装置研究被引量：1
《上海理工大学学报》2022年第6期540-545,共6页张岭 胡海峰 顾亮亮 詹其文 
上海市科委部分地方院校能力建设项目(19060502500)。
搭建了基于266 nm波长深紫外光源的干涉光刻装置,使用平顶光整形器将高斯光整形成平顶光束,在硅基底上制备出面积为8.9 mm×25.4 mm、周期为407 nm的一维光栅结构图形和周期为860 nm的二维孔洞结构。使用扫描电子显微镜(SEM)测量了平顶...
关键词：激光干涉光刻 平顶光 深紫外激光 光栅结构 微纳加工 
激光干涉光刻制备976nm分布反馈式激光器光栅被引量：8
《激光与光电子学进展》2017年第12期82-88,共7页白云峰 范杰 邹永刚 王海珠 海一娜 田锟 
长春理工大学青年科学基金(XQNJJ-2015-10);长春理工大学科技创新基金(XJJLG-2016-07);吉林省科技计划重点项目(20150204068GX)
分布反馈式(DFB)半导体激光器具有优良的稳定性和单模性,广泛应用于激光器抽运和光通信等领域。光栅作为DFB激光器的关键部件,对激光器性能有重要的影响。针对976nm波段设计制备了DFB激光器的光栅。基于耦合模理论优化设计光栅的结构参...
关键词：光栅 激光干涉光刻 半导体激光器 干法刻蚀 
应用于大面积光刻的激光图案检测系统被引量：1
《中国科技论文》2015年第8期948-951,956,共5页侯煜 胡贞 王作斌 翁占坤 
国家自然科学基金资助项目(61176002);高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20112216110002);吉林省科技发展计划资助项目(201115157;20110704)
基于激光干涉光刻的基本原理,设计了新型的可应用于大面积光刻的激光图案检测系统,并阐述了利用电荷耦合元件对光刻图案的CMOS实时检测及实现大面积光刻的方法。实验结果表明,使用激光干涉光刻技术可以产生大面积的亚微米级周期性图案...
关键词：激光干涉光刻 压电陶瓷控制 CMOS实时检测 
一种大面积二维石英纳米结构制备的工艺研究
《中国测试》2015年第S1期1-5,共5页郑杰 李玲 吕厚祥 王诗琴 宫云志 刘贤超 
中国科学院光电技术研究所微细加工国家重点实验室开放基金项目(KFS4)
介绍一种采用紫外(363.8nm)激光干涉光刻得到大面积二维纳米点阵结构的方法,该技术具有操作简单、光路搭建成本低、可以大面积加工微纳图形结构等优点;并利用等离子体刻蚀传递,获得周期为200nm的二维石英纳米点阵结构。通过光刻工艺与...
关键词：激光干涉光刻 等离子体刻蚀 纳米结构 紫外可见光分光光度计 紫外透过率 
激光干涉微纳双重结构调制周期的提取
《长春理工大学学报（自然科学版）》2014年第1期65-67,71,共4页连凡凡 胡贞 
为了制备质量更高的微纳双重结构,采用激光干涉光刻技术,分别搭建三光束、四光束和六光束光路进行光干涉,对干涉结果进行图像采集的实验。采用图像处理的方法对采集的图像进行处理,提取了微纳双重结构的调制周期,并与理论周期值进行比较...
关键词：微纳双重结构 激光干涉光刻 图像采集 调制周期 
表面微结构化探测器的灵敏度分析
《长春理工大学学报（自然科学版）》2013年第5期65-70,共6页蒋尹爽 宋正勋 董莉彤 余烨 王作斌 尹福昌 
利用激光干涉光刻技术制备大面积表面微结构的方法对探测器表面进行处理,实验与测试表明,此方法能够增加探测器对信号的吸收率及提高探测器的光电转换效率,达到提高探测器灵敏度的目的。
关键词：激光干涉光刻 微纳结构 光电转换效率 
一种简单高效的制备硅纳米孔阵结构的方法被引量：1
《物理学报》2013年第15期315-320,共6页戴隆贵 禤铭东 丁芃 贾海强 周均铭 陈弘 
国家自然科学基金(批准号:11204360;61210014);国家高技术研究发展计划(批准号:2011AA03A112;2011AA03A106)资助的课题~~
本文介绍了一种简单高效的制备硅纳米孔阵结构的方法.利用激光干涉光刻技术,结合干法和湿法刻蚀工艺,直接将光刻胶点阵刻蚀为硅纳米孔阵结构,省去了图形反转工艺中的金属蒸镀和光刻胶剥离等必要步骤,在2英寸的硅(001)衬底上制备了高度...
关键词：激光干涉光刻 纳米阵列 刻蚀 氟碳有机聚合物 
激光干涉光刻工艺开发与应用研究被引量：3
《传感器与微系统》2013年第5期9-12,共4页于航 陆冰睿 陈国平 刘冉 
国家"863"计划资助项目(2011AA100706-2);国家"973"计划资助项目(2011CAB00603);复旦大学研究生创新基金资助项目
成功开发出以劳厄干涉为基础的激光干涉光刻系统与工艺,该工艺可在大面积范围内加工二维周期性图形,非常适合于生产光电子器件和微电子器件的周期性结构。通过实验研究了使用该工艺加工表面纳米结构的流程,对比了几种光刻胶在该工艺中...
关键词：激光干涉光刻 微纳结构 光刻胶 
Matlab对激光干涉纳米阵列的仿真与研究被引量：3
《长春理工大学学报（自然科学版）》2012年第2期67-70,共4页王大鹏 车英 
纳米科技独特的魅力在于其纳米效应,而实现纳米效应的关键就是具有纳米结构,周期性纳米结构在高密度数据存储、光子晶体、MEMS和生物传感器中具有大量的应用。不同纳米阵列的研究吸引着各领域的研究人员。本文借助Matlab探究不同参数对...
关键词：MATLAB 纳米阵列 激光干涉光刻 
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