溶液法高质量外延薄膜助力新型复杂氧化物研究  

出　　处：《润滑与密封》2020年第3期69-69,共1页Lubrication Engineering

摘　　要：目前普遍用于外延薄膜生长的物理气相沉积技术在复杂氧化物外延薄膜制备工艺,存在工艺探索周期长、生长窗口窄、参数稳定性低等困难。为此,中国科学院深圳先进技术研究院李江宇教授课题组,发展了适用于(1-x)BiTi(1-y)/2 FeyMg(1-y)/2 O3-(x)CaTiO3(BTFM-CTO)体系室温多铁固溶体的溶液法大面积外延薄膜制备工艺。该工作充分体现了溶胶凝胶法简单快速、成本低廉、成分调控均匀灵活等特点,在复杂氧化物外延薄膜研究及应用方面展现出巨大的潜力和优势,并易于与工业生产相结合,助力提升新型复杂氧化物材料器件化的发展速度。

关 键 词：物理气相沉积 外延薄膜 中国科学院 溶液法 参数稳定性 CATIO3 溶胶凝胶法 复杂氧化物 

分 类 号：TB383.2[一般工业技术—材料科学与工程]