快排清洗槽中节水阀的应用分析  

作　　者：赵宏亮 边晓东 刘建民 高津平[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176

出　　处：《清洗世界》2020年第3期43-45,共3页Cleaning World

摘　　要：在晶圆的清洗洁净过程中,利用快速排水清洗槽进行快速排水清洗法是比较常见的一种晶圆清洗方式。快速排水清洗法是先将晶圆完全浸泡于快速清洗槽的去离子水中,再快速排除清洗槽中的去离子水,用于达到清洗晶圆的目的。现有的清洗设备中,当完成对晶圆的清洗工艺后,再次利用快速排水的工艺方法会消耗大量水资源。本文针对这一问题,提出了一种适用于该类工艺流程的节水阀。

关 键 词：晶圆清洗 节水阀 QDR 

分 类 号：TH134[机械工程—机械制造及自动化]