轴对称非球面绝对形状误差测量  

作　　者：林炜晟 宋震国(指导)[1] 陈政寰(指导) 

机构地区：[1]台湾清华大学

出　　处：《机械工程学报》2020年第6期220-220,共1页Journal of Mechanical Engineering

摘　　要：非球面光学元件表面形貌的干涉测量因须透过计算机全像片、零透镜等补偿元件提供与待测元件相匹配的理想非球面波前,故需严谨与复杂的程序进行测量系统即包含干涉仪内部光路系统对准误差、参考球面镜头与补偿元件等误差的校正。

关 键 词：干涉测量 非球面光学元件 干涉仪 轴对称非球面 补偿元件 形状误差 光路系统 测量系统 

分 类 号：TH703[机械工程—仪器科学与技术]