一种籽晶轴温度梯度调节结构设计优化研究  

作　　者：张国华 

机构地区：[1]上海昀丰光电技术有限公司,上海201210

出　　处：《中国新技术新产品》2020年第6期36-38,共3页New Technology & New Products of China

摘　　要：蓝宝石晶体在生长的过程中,热场的温度分布是影响晶体产品质量的关键因素,尤其是籽晶部位的温度梯度,合适的籽晶轴径向温度梯度可以保证良好的晶体放肩生长。基于此,该文从机械结构角度入手对单晶炉籽晶温度梯度调节的影响进行了分析,并提出优化单晶炉结构的设计方法。根据优化后的结果,采用籽晶温度梯度调节结构进行长晶实验,实验结果显示,晶体在放肩生长的过程中,界面尖凸可控,可有效防止长晶界面翻转,晶体完整率明显提升,从85%提高到95%。

关 键 词：单晶炉 籽晶轴 温度梯度 蓝宝石 晶体生长 放肩 

分 类 号：TQ16[化学工程—高温制品工业]