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出　　处：《杭州化工》2020年第2期42-46,9,13,16,20,24,27,33,36,39,共14页Hangzhou Chemical Industry

摘　　要：为“中国芯”保驾护航。超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液是芯片制造行业不可替代的关键电子化学品之一,其关键技术和核心装备长期被国外企业所垄断,严重制约着我国芯片产业的健康可持续发展,是亟待攻克的“卡脖子”技术。兴发集团从2006年开始,与中国科学院过程工程研究所、武汉工程大学和集团旗下湖北兴福电子材料有限公司合作,经过10多年研究攻关,自主研发出高纯黄磷与电子级磷酸制备的关键技术,打破了超高纯电子级磷酸产品的进口依赖,实现了高选择性蚀刻液的自主制备,芯片用超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液生产关键技术也因此获得了2019年国家科技进步二等奖。

关 键 词：兴发集团 电子化学品 电子级磷酸 芯片制造 芯片产业 中国芯 核心装备 武汉工程大学 

分 类 号：F42[经济管理—产业经济]