电子级磷酸

作品数：52被引量：116H指数：9
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二维离子排斥-离子交换色谱配合阀切换技术测定G2级磷酸中的痕量阴离子
《色谱》2025年第3期237-244,共8页王佳鼎 唐高 鹿燕 卢珩俊 叶涛 
浙江省市场监管局“雏鹰计划”培育项目(CY2022005);浙江省教育厅科研资助项目(Y202353765).
本研究建立了在超净环境下基于二维离子排斥-离子交换色谱配合阀切换技术测定G2级磷酸中痕量阴离子含量的方法。通过比较确定了第一维超纯水流经离子排斥柱的最佳柱流速为0.5 mL/min,并确定阀切换窗口,以尽可能降低PO 43-在阴离子富集...
关键词：电子级磷酸 痕量阴离子 阀切换 二维离子色谱 
电子级磷酸的结晶精制技术发展现状与研究进展
《化工学报》2025年第2期438-453,共16页董举 余留洋 贾晟哲 史连军 王诗瀚 胡国涛 汤伟伟 王静康 龚俊波 
中低品位磷矿及其共伴生资源高效利用国家重点实验室开放课题基金项目(2015DQ820763)。
电子级磷酸作为电子工业常用的一种超高纯试剂,广泛应用于大屏幕液晶显示器和超大规模集成电路等微电子工业中的湿法蚀刻和清洗。随着电子元器件加工精度的迭代更新,对电子级磷酸中杂质含量与微粒的要求也在日益提高。综述了电子级磷酸...
关键词：电子级磷酸 电子材料 结晶 纯化 过程强化 
湿法磷酸除砷制备电子级磷酸研究进展被引量：1
《湿法冶金》2024年第5期504-512,共9页肖睿 李韬 任美洁 黄一敏 宁平 刘繁松 
湿法磷酸深度脱砷制备电子级磷酸是高质量发展磷化工行业并推动磷化工行业技术转型的重要技术环节。电子级磷酸要求砷质量分数低于1×10^(-7) kg/kg,但因砷和磷的理化参数相似,因此如何实现从磷酸中深度分离砷成为了制备电子级磷酸的关...
关键词：湿法磷酸 砷 深度脱除 电子级磷酸 制备 危害 研究进展 
电子级磷酸的制备工艺及研究进展被引量：3
《化肥设计》2024年第2期1-3,16,共4页冉孟杰 杨润德 任国兴 
国家重点研发计划“非常规烧结/熔融体系建构及磷矿全量资源化利用”(2018YFC1900201)。
电子级磷酸是晶圆、薄膜液晶显示器生产不可或缺的关键清洗和蚀刻材料,随着芯片产业高端化发展,对电子级磷酸的要求越来越高。介绍了电子级磷酸的应用领域、质量标准和检测方法,综述了电子级磷酸的制备工艺及研究进展,阐述了相关方法的...
关键词：电子级磷酸 高纯磷酸 净化 湿电子化学品 
电子级磷酸的纯化精制技术发展现状与研究进展被引量：5
《化工学报》2024年第1期1-19,共19页余留洋 刘书博 贾晟哲 马航 万邦隆 苏琦雯 王静康 汤伟伟 贺豫娟 龚俊波 
国家自然科学基金面上项目(22278300);国家自然科学基金重点项目(21938009)。
电子级磷酸作为一种超高纯化学试剂,主要用于微电子行业中芯片的清洗与蚀刻,其纯度会显著影响电子元器件的成品率、电性能以及可靠性。然而,极低杂质(10^(-9)水平)的高端电子级磷酸,对于化工分离纯化技术的要求极高。从电子级磷酸在芯...
关键词：电子级磷酸 电子材料 纯化 结晶 技术集成 痕量杂质 
电子级磷酸研究现状及发展趋势分析被引量：8
《化肥设计》2022年第4期1-4,20,共5页张大洲 龙辉 卢文新 张宗飞 张科 
介绍了电子级磷酸的研究现状,分析了电子级磷酸的主要生产工艺及新技术研发进展,展望了电子级磷酸的发展前景。
关键词：电子级 磷酸 湿法净化磷酸 发展趋势 
电子级磷酸在电子工业中的应用及发展被引量：5
《当代化工研究》2021年第15期101-102,共2页杨着 姜飞 
本文介绍了电子级磷酸的性质、主要应用领域、主流的四种生产工艺路线、质量标准。阐述了电子级磷酸行业具有的特点:技术门槛高、产品更新换代快、功能性强、附加值高、市场占有率较高。介绍了电子级磷酸在电子工业中两种最主要的应用场...
关键词：电子级磷酸 高纯磷酸 电子化学品 电子工业 集成电路 
精细化工信息
《杭州化工》2020年第2期42-46,9,13,16,20,24,27,33,36,39,共14页
为“中国芯”保驾护航。超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液是芯片制造行业不可替代的关键电子化学品之一,其关键技术和核心装备长期被国外企业所垄断,严重制约着我国芯片产业的健康可持续发展,是亟待攻克的“卡脖子”技术。兴发集团从2...
关键词：兴发集团 电子化学品 电子级磷酸 芯片制造 芯片产业 中国芯 核心装备 武汉工程大学 
湿法磷酸净化技术研究进展被引量：14
《化工矿物与加工》2019年第10期50-55,共6页王智娟 韦昌桃 
云南省教育厅科学研究基金项目(2018JS450);云南省教育厅重点项目(2017zzx184);曲靖师范学院校级科研项目(2012QN018)
随着我国农业、食品、微电子等工业的不断发展,对工业、食品、电子级磷酸及精细磷酸盐的需求不断增大,湿法磷酸精制除杂是提高磷酸产品质量、提升企业竞争力的重要手段。概述了国内外湿法磷酸净化技术,包括物理吸附、溶剂沉淀、萃取、...
关键词：湿法磷酸 净化 进展 电子级磷酸 精细磷酸盐 
电子级磷酸研发现状及芯片级磷酸展望被引量：9
《粘接》2019年第5期61-64,共4页范相虎 周聪 袁军 郭嘉 
由于液晶显示器(LCD)工业和半导体芯片工业在中国迅速普及,用于清洗和蚀刻的电子级磷酸的需求正在日益增加,对磷酸中金属离子含量的要求也越来越高,为满足中国对电子级磷酸的需求,此方向成为许多研究学者研究的重点。本文介绍了近年来...
关键词：电子级磷酸 制备 应用 芯片级 
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