基于楔形基板沉积碳纳米管薄膜的实验研究  

Study on Experimental Deposition of Carbon Nanotube Film on Wedge Wafer

作　　者：易勋 Yi Xun(Shenzhen Ziyue Intelligent Manufacturing Co.,Ltd,Guangdong 518101,China)

机构地区：[1]深圳子曰智能制造有限公司,广东518101

出　　处：《集成电路应用》2020年第5期26-27,共2页Application of IC

基　　金：国家自然科学基金青年基金(61402506)面向玻色采样量子计算的光子探测技术研究。

摘　　要：分析表明,不同于传统硅基电子器件依靠CMOS工艺对性能进行调控,未来极具潜力的碳基电子器件,以碳纳米管薄膜晶体管为例,其性能主要取决于碳纳米管薄膜的成膜质量,尤其是形成薄膜的碳纳米管的取向与排列。提出一种基于楔形基板的成膜方案,讨论溶液蒸发过程中碳纳米管的取向与排列,分析碳纳米管溶液表面的蒸发现象,对比楔形基板的控制参数。基于显微镜观测的碳纳米管薄膜图像表明,通过楔形基板配合溶液法制备定向排列的碳纳米管薄膜是可能的。The alignment of carbon nanotube(CNT)plays an important role for semiconducting device application,since the transistor behavior was mainly charged by the quality of carbon nanotube thin film.Our paper discussed the alignment of CNTs from solution evaporation process,analyzed the evaporation phenomena of liquid surface,and compared the facilities of the substrate and container.The observation of patterned CNT thin film proves that our experiments improve the feasibility of fabrication CNT thin film transistor by using glass wafer with wedge structure.

关 键 词：碳纳米管 溶液蒸发 取向排列 弯月面 楔形基板 

分 类 号：TB383.2[一般工业技术—材料科学与工程]