聚酰亚胺涂胶工艺的研究  

作　　者：王惠生 张晨阳 邢栗 李庆斌 

机构地区：[1]沈阳芯源微电子设备股份有限公司,辽宁沈阳110000

出　　处：《信息记录材料》2020年第5期24-25,共2页Information Recording Materials

摘　　要：文介绍了一种聚酰亚胺的涂胶工艺研究方法,从其性能优势及应用再结合相应实验考察了聚酰亚胺光阻配方中滴胶速度、旋转时间等因素对结果的影响,最终得到一种最佳工艺涂胶配方。

关 键 词：聚酰亚胺 涂胶 光阻 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]