飞秒激光直写加工柱面微透镜阵列的方法研究  

作　　者：罗志[1] 段吉安(指导) 

机构地区：[1]中南大学 [2]不详

出　　处：《机械工程学报》2020年第10期243-243,共1页Journal of Mechanical Engineering

摘　　要：柱面微透镜阵列在叠阵半导体激光器快慢轴准直、裸眼3D成像、平行加工等领域有着广泛应用。针对半导体激光器领域:随着输出功率增大,尺度缩小;用于准直的透镜单元宽度由目前500μm朝100μm内缩减,长度维持mm量级,基材朝石英玻璃等高强度材料发展。目前适用于单元宽度100μm以内透镜阵列制造的方法均受限于聚合物材料,且受占空比小、效率低等缺陷影响,均难以满足工业发展需求。飞秒激光以其超快、超强的独特优势,可对所有材料实现冷加工,且加工尺度小、精度高、质量好,为石英玻璃表面透镜阵列的制造提供了选择。目前基于飞秒激光的微加工,多采用逐点法,其核心问题:效率低。本论文致力于基于飞秒激光采用一定的方式实现微透镜轮廓面的直接成形加工,满足材料要求的同时,极大地提升制造效率。主要内容如下。

关 键 词：半导体激光器 飞秒激光 透镜阵列 石英玻璃 高强度材料 平行加工 逐点法 微加工 

分 类 号：TN248.4[电子电信—物理电子学]