半导体制造用高纯电子气体新品种的现状  

作　　者：孙福楠[1] 

机构地区：[1]中昊光明化工研究设计院有限公司

出　　处：《深冷技术》2020年第3期18-21,共4页

摘　　要：回顾我国半导体生产过程中几种主要特种气体的生产和供应现状,指出我国超纯电子气体国产化过程中存在的问题。

关 键 词：高纯电子气体 硅烷化合物气体 有机硅烷 羰酰氟 三氟化氯 三甲基硼 高纯丙稀 

分 类 号：F42[经济管理—产业经济]