三氟化氯

作品数：16被引量：17H指数：3
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红外光谱技术在三氟化氯气体分析中的作用
《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2023年第2期71-74,共4页陈旺 阎瑞 廖群 罗艳 
三氟化氯(ClF3)作为高端制造业中的功能型特种气体在氟化工生产中一直处于重要的战略地位。针对三氟化氯特种气体纯度的检测,本文通过结合傅里叶变换红外光谱分析技术(FTIR)对化工催化反应合成的三氟化氯进行了快速的在线检测和深入分析...
关键词：三氟化氯 傅里叶红外光谱 在线分析 
三氟化氯电子气体研究进展被引量：2
《化学推进剂与高分子材料》2021年第3期21-31,共11页王连心 于剑昆 张景利 
简要介绍了新型电子气体三氟化氯(ClF_(3))的发展历史及其物化性能,主要介绍了ClF_(3)的制备方法及其在电子工业中的应用,指出ClF_(3)作为一种新型含氟电子气体,可用于化学气相沉积反应室原位清洗,以替代传统上使用的全氟烃及在某些场...
关键词：电子气体 三氟化氯 原位清洗 
三氟化氯研究进展概述
《低温与特气》2020年第6期1-4,共4页陈艳珊 
对三氟化氯的研究进展、用途进行了简述,并重点介绍了其现有制备和纯化工艺及尾气处理方法。
关键词：三氟化氯 制备 纯化 尾气处理方法 
三氟化氯的气相色谱分析被引量：1
《低温与特气》2020年第5期33-37,共5页李冲 朱荣宣 
三氟化氯(ClF3)由于极强的腐蚀性造成分析其纯度时较为困难,阐述了开发三氟化氯气相色谱分析方法的过程,逐步对分析方法进行优化,提出了可靠的分析三氟化氯的气相色谱方法。
关键词：三氟化氯 纯度 气相色谱法 
半导体制造用高纯电子气体新品种的现状
《深冷技术》2020年第3期18-21,共4页孙福楠 
回顾我国半导体生产过程中几种主要特种气体的生产和供应现状,指出我国超纯电子气体国产化过程中存在的问题。
关键词：高纯电子气体 硅烷化合物气体 有机硅烷 羰酰氟 三氟化氯 三甲基硼 高纯丙稀 
化学家族里的恐怖分子
《复印报刊资料（当代文萃）》2019年第1期32-33,共2页乔娟 
在化学家族中隐藏着很多可怕的家伙,比如氟,常温时为无色气体,低温时则变为绿色液体。氟具有超强的氧化性,能腐蚀大多数金属,还能燃烧受热的金子。不过,今天要出场的第一个家伙儿可比它凶焊多了,它叫三氟化氯。据称是迄今为止人类历史...
关键词：三氟化氯 氧化性 化学 恐怖分子 氟化物 家族 金子 
半导体制造用高纯电子气体新品种的现状被引量：7
《低温与特气》2017年第2期1-3,共3页孙福楠 于大秋 
对我国半导体生产过程中几种主要特种气体的现状进行了回顾,指出了我国超纯电子气体国产化过程中存在的问题。
关键词：硅烷 乙硅烷 二氯硅烷 一甲基硅烷 二甲基硅烷 三甲基硅烷 羰酰氟 三氟化氯 三甲基硼 高纯度丙烯 
三氟化氯气体合成反应研究被引量：1
《舰船防化》2016年第3期13-16,共4页王新喜 刘智慧 黄华瑶 张净普 李丹丹 李翔宇 
电子气体三氟化氯在半导体工业中用作清洗气，本文采用氟气与氯气反应，合成出了三氟化氯气体，通过对温度、物料配比、压力、流速等反应条件的筛选试验，选出了最佳的合成条件，最佳的三氟化氯制备条件为：温度：280℃～290℃，压力：0...
关键词：氟气 氯气 三氟化氯 合成 
揭秘! 世界十大最神奇的“极端”物质
《高中生学习（师者）》2011年第6期24-26,共3页
"极端"可能已经丧失了它的大部分术语意义,它濒临边缘,不断地用偏激打击我们的头脑。其实,每类物质都有它最极端的形态,但是,还有比这更极端的物质,想了解吗?高效吸光的碳纳米管当你把碳纳米管像三明治那样堆叠在一起时,你会得到什么?...
关键词：碳纳米管 放射性物质 科学家 极端 可吸收 三氟化氯 肉毒杆菌 三明治 表面粗糙 纳米棒 
世界十大极端物质科学原理
《北方人》2011年第6期53-54,共2页文博 
"极端"可能已经丧失了它的大部分术语意义,它濒临边缘,不断地用它的偏激打击我们的头脑。其实,每类物质都有它最极端的形态。我们都听说过,磁铁能够强大到将孩子从内部吸出,而酸能在几秒钟内腐蚀掉你的手。但是,还有比这更极端的物质,...
关键词：内腐蚀 吸出 三氟化氯 固体火箭燃料 它比 托金 电影画面 肉毒杆菌 超流 棉花糖 
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