黄华瑶

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：中国船舶重工集团公司第七一八研究所更多>>
发文主题：氟气氯气三氟化氯更多>>
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三氟化氯气体合成反应研究被引量：1
《舰船防化》2016年第3期13-16,共4页王新喜 刘智慧 黄华瑶 张净普 李丹丹 李翔宇 
电子气体三氟化氯在半导体工业中用作清洗气，本文采用氟气与氯气反应，合成出了三氟化氯气体，通过对温度、物料配比、压力、流速等反应条件的筛选试验，选出了最佳的合成条件，最佳的三氟化氯制备条件为：温度：280℃～290℃，压力：0...
关键词：氟气 氯气 三氟化氯 合成 
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