集成电路制造工艺实验流程仿真实验研究  

作　　者：王保柱[1] 武瑞红[1] 张明 

机构地区：[1]河北科技大学信息工程学院,河北石家庄050018

出　　处：《科技风》2020年第20期101-101,共1页

基　　金：2019河北科技大学教学改革研究课题(2019-YBA06);2016年河北科技大学理工学院教学改革研究课题(ZX2016Z02)。

摘　　要：仿真实验教学是信息时代教育改革发展的必然要求,也是教育技术现代化和实践实验信息化的重要特征。本论文设计开发了一套集成电路工艺实验流程仿真实验软件,可以在计算机上进行完成一些需要昂贵仪器、有一定危险的实验项目。虚拟仿真技术在实验教学的综合应用,是增强学生实践能力和提高学生就业竞争力的重要手段和方法。

关 键 词：集成电路 工艺 仿真 

分 类 号：G642[文化科学—高等教育学] TN405-4[文化科学—教育学]