业界要闻  

出　　处：《电子工业专用设备》2020年第4期65-72,共8页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：ASM:先进制程设备需求旺,ALD和Epi产品线强劲增长在5G、物联网、AI等高端应用的持续催化下,设备作为半导体元器件制造的基础,面临的关键技术挑战越来越多。ALD(原子层沉积)以前是一个不起眼的工艺,随着集成电路技术不断演进,ALD逐步成为半导体器件突破挑战的主要工艺之一。

关 键 词：半导体元器件 集成电路技术 半导体器件 原子层沉积 业界要闻 产品线 物联网 ALD 

分 类 号：F416.6[经济管理—产业经济] F125