JSM-6510扫描电子显微镜组成系统及维护要求  

Component System and Maintenance Requirements of JSM-6510 Scanning Electron Microscope

作　　者：谭文英 Tan Wenying

机构地区：[1]佛山中科邦达无机功能材料有限公司,广东佛山528500

出　　处：《仪器仪表与分析监测》2020年第3期17-20,共4页Instrumentation·Analysis·Monitoring

摘　　要：扫描电子显微镜广泛应用于材料分析,在该行业中担当重要的角色。本文介绍日本电子JSM-6510扫描电子显微镜的组成系统,论述了各系统的维护要求。

关 键 词：扫描电镜 组成系统 维护 

分 类 号：TH742[机械工程—光学工程]