MEMS传感器研究现状与发展趋势  

作　　者：何成奎[1] 

机构地区：[1]达州职业技术学院,四川达州635001

出　　处：《农业开发与装备》2020年第8期27-29,共3页Agricultural Development & Equipments

基　　金：四川革命老区发展研究中心资助项目(SLQ2017B-09)。

摘　　要：微型化、集成化及智能化是当今科学技术的主要发展方向。随着微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)和微加工技术的发展,微型传感器也随之迅速发展。介绍了MEMS传感器概念及种类,并对其研究现状、应用领域进行了分析总结和介绍。最后,对MEMS传感器的一些发展趋势进行了论述和展望。

关 键 词：MEMS 传感器 微系统 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]