氧化锌基薄膜晶体管的进展与挑战  

作　　者：田思野 刘作淋 肖丹 胡小强 周路[1] 

机构地区：[1]吉林建筑大学电气与计算机学院

出　　处：《经济技术协作信息》2020年第36期133-133,共1页

基　　金：大学生创新创业训练项目:氧化锌基薄膜晶体管的制备与性能研究(202010191035);吉林省教育厅“十三五”科学技术研究项目:基于喷墨打印技术的ZnO-TFT界面调控及器件性能研究(JJKH20190865KJ)。

摘　　要：透明电子学由于其优异的电学性能在下一代高性能平板显示应用中受到了广泛的关注和研究。在显示应用中,薄膜晶体管(TFT)作为控制像素的基本单元发挥着重要作用。其中,基于氧化物的TFT具有高迁移率,良好的透明性,优异的均匀性和较低的加工温度,已成为有前途的候选材料,并逐渐取代了常规的非晶态和多晶硅TFT。本论文简要介绍了TFT器件的结构和工作原理,讨论了氧化锌基TFT的当前问题和挑战。

关 键 词：平板显示 高迁移率 多晶硅TFT 加工温度 氧化锌 电学性能 基本单元 透明性 

分 类 号：TN3[电子电信—物理电子学]