各类型光刻机对准标记设计分析  

作　　者：李秋 苏婷 

机构地区：[1]福建中科光芯光电科技有限公司,福建福州350001

出　　处：《电子元器件与信息技术》2020年第10期7-8,共2页Electronic Component and Information Technology

摘　　要：国内芯片缺口比较大,每年从国外进口的芯片超过石油行业,达到三千亿美金以上,半导体芯片目前是国家重点关注的行业,在半导体制造链条中光刻是最核心的一道工序,而光刻机是最核心的设备。本文对各类型光刻机的对准标记进行分析,希望能够给从事半导体芯片行业的研究人员提供一些帮助。

关 键 词：半导体 光刻 特征尺寸 

分 类 号：TP333[自动化与计算机技术—计算机系统结构]