上海光机所在激光抛光熔石英元件方面取得新进展  

出　　处：《润滑与密封》2021年第1期116-116,共1页Lubrication Engineering

摘　　要：近期,中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心研究团队结合化学深刻蚀和激光抛光对精磨后的熔石英玻璃进行加工,获得了具有超光滑表面和高激光损伤阈值的熔石英元件。相关研究成果发表于Optics Letters。

关 键 词：激光抛光 上海光机所 激光损伤阈值 检测中心 深刻蚀 精密光学 中国科学院 熔石英玻璃 

分 类 号：TQ171.731[化学工程—玻璃工业]