ZnO薄膜压电效应仿真研究  

作　　者：钟勉 杨涛 石文杰 胡家豪 李梦[1] 徐亚军[1] 周超[2] 

机构地区：[1]中国民用航空飞行学院航空工程学院 [2]中国民用航空飞行学院科研基地

出　　处：《中国科技信息》2021年第10期114-116,共3页China Science and Technology Information

基　　金：国家重点研发计划项目(2018YFC0809500);四川省转移支付项目(2018GZYZF0066);中国民用航空飞行学院成果转化与创新基金(CJ2019-01);中国民用航空飞行学院面上项目(BJ2016-04,J2018-56,J2020-49)。

摘　　要：ZnO因其特殊六方晶体结构而具有优异的压电、光电和压敏等特性,已广泛应用于传感器、发光器件和新能源等领域。本文利用COMSOL Multiphysics软件对ZnO薄膜的压电效应进行仿真,通过在直接受力的情况下测量模型表面的电势,成功观察到了ZnO薄膜压电效应的线性特性;模拟了压电传感器模型在分布结构改变时,其压电系数随其变化的规律。仿真结果表明,ZnO薄膜作为压电材料具有将机械能转换为电能的优良特性。

关 键 词：压电效应 压电传感器 ZNO薄膜 六方晶体 压电系数 压电材料 发光器件 机械能转换 

分 类 号：TB383.2[一般工业技术—材料科学与工程]