高纯氨生产工艺技术探讨  

作　　者：沈钦赐 

机构地区：[1]联氨精密气体(厦门)有限公司,福建厦门361101

出　　处：《新型工业化》2020年第10期40-41,共2页The Journal of New Industrialization

摘　　要：随着绿色能源和半导体的崛起,LED和半导体的使用越来越广泛,导致市场对半导体和LED生产所需的高纯氨气需求增大。通过目前不同的高纯氨生产的工艺进行比较来探讨其优劣势。

关 键 词：半导体 LED 高纯氨 7N 生产工艺 

分 类 号：O471.1[理学—半导体物理]