复杂光学面形的自适应可变补偿干涉检测技术研究  

作　　者：薛帅[1] 陈善勇(指导) 

机构地区：[1]国防科技大学 [2]不详

出　　处：《金属加工（冷加工）》2021年第6期I0032-I0032,共1页MW Metal Cutting

摘　　要：随着侦查预警探测等成像光学系统性能不断提高,纳米精度自由曲面光学元件将是下一代成像光学系统的主角。当前如何实现纳米精度自由曲面光学元件检测,成为高性能成像光学系统研制的瓶颈难题。干涉测量是普遍使用的光学面形测量方法,然而受传统干涉测量镜头和补偿器固定形式限制,难以满足制造中局部大误差检测和灵活适应不同复杂面形的需求,严重影响了自由曲面光学元件的加工效率和质量。针对这一瓶颈,论文开展自适应可变干涉检测基础研究,创新点包括如下几个方面。

关 键 词：干涉检测 成像光学系统 干涉测量 误差检测 自由曲面光学 面形测量 补偿器 元件检测 

分 类 号：TH74[机械工程—光学工程]