LED产业含氨含氢废气处理技术发展现状  

作　　者：张峰 

机构地区：[1]安徽三安光电有限公司,安徽芜湖241000

出　　处：《安防科技》2020年第14期251-251,共1页SAFETY & SECURITY TECHNOLOGY

摘　　要：金属有机物(MOCVD)化学沉积过程产生大量废气是因为生产LED外延片,主要由NH3、H2、N2和少量有机金属(MO源)组成,需要安全处置。工业中最常用的方法是燃烧、水吸收和化学法。一种新型的面向企业的LED废液生产,采用氨蒸馏技术,可在一步操作中提供99%以上的氨回收率,纯度高达20%,操作灵活性高,资源化效率高。

关 键 词：LED行业 含氨废气 处理技术 资源化 

分 类 号：G63[文化科学—教育学]