PECVD工序硅片上下料时掉片的解决措施  

作　　者：施秉旭 

机构地区：[1]德州职业技术学院

出　　处：《电子世界》2021年第15期150-151,共2页Electronics World

基　　金：2019年度德州市市级研发计划项目(951-PECVD制备氮化硅薄膜工艺研究);山东省教育科学“十三五”规划2020年度课题项目(2020QZC007)。

摘　　要：在太阳能电池片的生产工艺流程中,镀膜(PECVD)工序硅片的自动化传输由全自动石墨舟上下料装机完成。通过对机械精度的调整和优化机器人运动轨迹,制定了针对机器人插片时掉片这一问题的解决措施。氮化硅薄膜具备较好的阻隔钠离子、掩蔽金属以及水蒸气散发的功能,可以加强在硅片上进行光的投射,降低反射,由此加强硅片的光电转化效果。镀膜工艺是制备高效晶体硅太阳能电池的重要步骤之一,通过PECVD镀膜制作较高效率的晶体硅太阳能电池片,这对大范围运用太阳能发电具备及其关键的含义。

关 键 词：晶体硅太阳能电池 太阳能电池片 太阳能发电 光电转化 氮化硅薄膜 机械精度 镀膜工艺 钠离子 

分 类 号：TM9[电气工程—电力电子与电力传动]