Rubbing工艺微观缺陷检测与效率提升  

作　　者：胡鹏 王晓峰 寇建龙 罗天月 刘凯祥 王文浩 尤雷 付正德 孙慧 

机构地区：[1]武汉京东方光电科技有限公司

出　　处：《电子世界》2021年第16期87-90,共4页Electronics World

摘　　要：星型破损是TFT-LCD行业的摩擦配向工艺(Rubbing)顽固不良,特别在10.5代线人眼检查检出率<10%,成本Loss极高。由于不良缺陷在0.5~10mm之间,基板图案复杂干扰点多,常规图像面检查,过检率高,达不到使用目的。本文通过特殊的粗/精定位图像二值化处理方法,对玻璃基板微观缺陷的密集的显示区进行提取,将缺陷检出率提高到99.7%,过检率降低到平均2.4%。首次将AOI光学检查方案成功导入Rubbing微观缺陷捕捉领域,同时对缺陷进行判断分类,优化了设备稼动,误检引起的停机时间由2.3%减少到0.5%。

关 键 词：微观缺陷 缺陷检出率 玻璃基板 图像二值化 停机时间 AOI 检查方案 精定位 

分 类 号：TN8[电子电信—信息与通信工程]