检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
作 者:张以忱[1] ZHANG Yi-chen
机构地区:[1]东北大学,辽宁沈阳110004
出 处:《真空》2021年第5期110-112,共3页Vacuum
摘 要:(接2021年第4期104页)A镀铝层厚度的测量由于真空镀铝薄膜的镀铝层非常薄,因此不能用常规的测厚仪器检测其厚度,通常在线可以通过电阻测量辊测量表面电阻,测量透过镀层的光密度和测量镀层的高频涡流感应电流等三种方式现实。离线用四探针电阻仪或欧姆表测量表面电阻。a电阻法电阻法是利用欧姆定律来对镀铝层的厚度进行测量,根据欧姆定律R=ρ×L/S,单位面积镀铝薄膜的电阻值越小,其镀铝层的厚度越厚,反之则越薄。
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