HL-2M装置真空抽气系统的研制  

Development of HL-2M vacuum pre-pumping system

作　　者：蔡潇[1] 曹曾[1] 张炜[1] 李瑞鋆 冉红[1] 蔡立君[1] CAI Xiao;CAO Zeng;ZHANG Wei;LI Rui-jun;RAN Hong;CAI Li-jun(Southwestern Institute of Physics,Chengdu 610041)

机构地区：[1]核工业西南物理研究院,成都610041

出　　处：《核聚变与等离子体物理》2021年第S01期355-359,共5页Nuclear Fusion and Plasma Physics

摘　　要：HL-2M装置真空抽气系统包括4套涡轮分子泵机组和4套低温泵机组。辅助系统主要由设备逻辑控制与信号测量、水冷却循环系统和设备供气系统3部分组成。真空室经过100℃烘烤后真空度达到2.3×10^(-6)Pa,超过了设计预期真空度,满足超高真空技术要求。HL-2M vacuum pre-pumping system is composed of four turbo molecular pump units and four cryo-pump units.Vacuum degree of 2.3×10^(-6)Pa was achieved,after 100℃baking of the vacuum chamber,which exceeded the design requirement and satisfied HL-2M plasma discharges.

关 键 词：超高真空 抽气系统 真空室 有效抽速 

分 类 号：TL628[核科学技术—核技术及应用]