金刚石作为散热材料在氮化镓基电子器件中的应用  

作　　者：无 

机构地区：[1]网易号

出　　处：《超硬材料工程》2021年第4期16-16,共1页Superhard Material Engineering

摘　　要：随着GaN基电子功率转化器的功率密度增加和尺寸减小,器件的散热成为实际应用的关键问题。金刚石在所有天然材料中具有最高的热导率,可用于与GaN集成以消散AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)通道产生的热量。目前的金刚石基GaN晶片(GaN-on-diamond)制备技术包括三种策略:GaN与金刚石结合、金刚石在GaN上的外延生长和GaN在金刚石上的外延生长。

关 键 词：外延生长 ALGAN/GAN 氮化镓基 天然材料 电子器件 转化器 散热材料 功率密度 

分 类 号：TN3[电子电信—物理电子学]