《真空镀膜技术与设备》(第2版)出版发行  

作　　者：无 

机构地区：[1]沈阳真空杂志社

出　　处：《真空》2021年第6期26-26,共1页Vacuum

摘　　要：由东北大学张以忱主编的融媒体教材:《真空镀膜技术与设备》(第2版)由冶金工业出版社出版发行。全书共分10章,书中深入浅出地阐述了真空镀膜技术与设备的基础理论、各种薄膜制备技术、真空镀膜机的结构及镀膜机的设计计算、镀膜蒸发源、磁控靶的设计计算、膜厚测量及监测技术、薄膜与表面分析检测技术等方面的内容。

关 键 词：真空镀膜技术 镀膜机 出版发行 冶金工业出版社 薄膜制备技术 分析检测技术 蒸发源 膜厚测量 

分 类 号：TB4[一般工业技术]