镀膜机

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从“差三代”到“全覆盖”——国产离子注入机自主研发攻关纪实
《中国科技财富》2024年第4期36-37,共2页付毅飞 
提起离子注入机,熟悉集成电路的人都知道,该设备与光刻机、刻蚀机、镀膜机并称为芯片制造的“四大核心装备”,其高端市场长期被国外垄断。20多年前,为突破集成电路装备自主创新的堵点卡点,中国电科所属中电科电子装备集团(以下简称“电...
关键词：离子注入机 芯片制造 光刻机 集成电路 电子装备 高端市场 镀膜机 核心装备 
真空镀膜机电子束蒸发器工作原理及故障处理
《设备管理与维修》2023年第11期66-67,共2页李凯 
根据Leybold真空镀膜机电子束蒸发器的工作原理,结合实际维修经验,分析电子束蒸发器常见故障的成因,梳理排查步骤及解决措施,总结蒸发器日常使用中的注意事项。
关键词：真空镀膜机 电子束蒸发器 故障处理 
虚拟样机技术在真空镀膜机设计中的应用
《现代制造技术与装备》2022年第4期118-120,共3页金昌度 
现阶段,磁控溅射镀膜机广泛应用于工业镀膜。工业应用对薄膜参数要求不断提高,但由于国内镀膜机设计采用传统模式,主要结合大量经验公式进行设计,导致设计周期较长,无法满足镀膜机的应用需求。为解决上述问题,研究虚拟样机技术在镀膜机...
关键词：虚拟样机技术 真空镀膜机 仿真模型 
基于PLC的真空离子镀膜机控制系统设计被引量：1
《机械管理开发》2022年第2期283-284,287,共3页张羽洲 
真空离子磁控溅射镀膜是一种被广泛使用的镀膜工艺,具有工艺质量好、操作简便、控制灵活等优势。因此,探讨了基于PLC的真空离子磁控溅射镀膜机的控制系统结构和软硬件设计。该系统可实现真空离子磁控溅射镀膜机的逻辑控制和数据处理,以...
关键词：PLC真空镀膜机 真空离子磁控溅射 离子镀膜 
《真空镀膜技术与设备》(第2版)出版发行
《真空》2021年第6期26-26,共1页无 
由东北大学张以忱主编的融媒体教材:《真空镀膜技术与设备》(第2版)由冶金工业出版社出版发行。全书共分10章,书中深入浅出地阐述了真空镀膜技术与设备的基础理论、各种薄膜制备技术、真空镀膜机的结构及镀膜机的设计计算、镀膜蒸发源...
关键词：真空镀膜技术 镀膜机 出版发行 冶金工业出版社 薄膜制备技术 分析检测技术 蒸发源 膜厚测量 
真空镀膜机用小型磁性液体密封设计被引量：6
《北京交通大学学报》2021年第5期124-129,共6页于文娟 李德才 李艳文 张志力 董珈皓 
国家自然科学基金(51735006,U1837206,51927810);北京市自然科学基金(3182013)。
真空镀膜机的传动控制轴处密封通常采用的是接触式机械密封,易磨损、寿命短、制作工艺繁琐、造价高.本文设计了小轴径真空镀膜机用的磁性液体密封结构,对磁性液体密封结构的磁场进行了有限元分析,得到了密封结构的磁场分布,以及密封结...
关键词：密封 磁性液体 有限元 真空镀膜机 
公转结构电子束蒸发成膜的膜厚误差研究被引量：4
《激光与光电子学进展》2021年第11期368-372,共5页鲍刚华 王奔 谢雨江 梁玉 
对公转结构电子束蒸发镀膜机的膜厚误差进行研究。提出一种基于非余弦膜厚分布理论的膜厚误差分析方法,并用数学方法对膜厚误差的分布进行表征。膜厚误差是基板表面位置的函数,不仅与镀膜工艺参数有关,还与蒸发源和基板之间的空间结构...
关键词：薄膜 光学薄膜 电子束蒸发 镀膜机设计 膜厚误差 
光学真空镀膜机的应用及发展
《设备管理与维修》2021年第11期88-89,共2页孙海新 
介绍光学镀膜机的结构以及镀膜工艺在部件选择和真空室配置等方面的决定性作用,针对Lens的膜系生产提出了镀膜工艺的改进方法,以达到提高生产精度、降低生产和维护成本、减少污染的目的。
关键词：光学镀镆 离子源 射频源 真空泵 分子泵 
浅析PVD镀膜机设备的镀膜方式被引量：1
《价值工程》2021年第15期123-124,共2页冷长志 
近几年随着社会的发展,越来越多的设备被应用于各行各业,在镀膜过程中也越来越多的厂家开始采用PVD镀膜机设备,加上这种镀膜设备的局限性小,因此这种镀膜工艺的应用范围越来越广,但是人们对于PVD镀膜机设备的了解少之又少,本文就为浅析...
关键词：PVD镀膜机设备 镀膜方式 分析 
镀膜机雾化喷枪喷涂流场特性分析研究
《机床与液压》2021年第6期108-113,共6页余昆 刘亚俊 童伟 赵思琪 
空气雾化喷涂技术在手机屏幕的防水防油防指纹涂层、防爆涂层喷涂等工艺上有着极为重要的作用。为了提高手机玻璃屏幕防水涂层的喷涂稳定性和涂层均匀性,对空气雾化喷枪的喷涂流场特性进行仿真分析与研究。对某公司一款纳米镀膜机的KA-...
关键词：雾化喷涂 VOF-DPM模型 流场特性 CFD仿真 
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