从“差三代”到“全覆盖”——国产离子注入机自主研发攻关纪实  

作　　者：付毅飞 

机构地区：[1]不详

出　　处：《中国科技财富》2024年第4期36-37,共2页China Science and Technology Fortune Magazine

摘　　要：提起离子注入机,熟悉集成电路的人都知道,该设备与光刻机、刻蚀机、镀膜机并称为芯片制造的“四大核心装备”,其高端市场长期被国外垄断。20多年前,为突破集成电路装备自主创新的堵点卡点,中国电科所属中电科电子装备集团(以下简称“电科装备”)第四十八研究所组建研发团队,走上离子注入机科研攻关之路。

关 键 词：离子注入机 芯片制造 光刻机 集成电路 电子装备 高端市场 镀膜机 核心装备 

分 类 号：TN3[电子电信—物理电子学]