基于PGA900的薄膜微压传感器研究  

Research on thin film micro pressure sensor based on PGA900

作　　者：鹿文龙 王刚 

机构地区：[1]陕西电器研究所,西安710075 [2]西安北方光电科技防务有限公司,西安710048

出　　处：《电子产品世界》2022年第1期52-55,共4页Electronic Engineering & Product World

摘　　要：本文基于溅射薄膜技术研制微压传感器,充分发挥溅射薄膜技术优势,通过改进芯体结构解决了输出灵敏度低的难题。使用PGA900信号调理器对薄膜微压传感器进行信号调理,通过内置算法实现传感器温度补偿和性能优化。经过试验验证,传感器的性能稳定、输出特性良好,达到了同类产品的较高水平。

关 键 词：PGA900 微压传感器 溅射薄膜 信号调理 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]