微压传感器

作品数：58被引量：79H指数：4
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《微纳电子技术》2024年第12期54-54,共1页《微纳电子技术》编辑部 
我刊2024年11期刊登的论文《基于梁-膜结构的MEMS微压传感器设计与制备》,作者为张林、胡宗达、张坤、李宁、秦芸,DOI码为10.13250/j.cnki.wndz.24110405,因作者疏忽,误将基金项目号填写成项目申请号,正确的基金项目号为2023YFB3209000...
关键词：基金项目 特此声明 微压传感器 勘误 DOI 项目申请 膜结构 
基于梁-膜结构的MEMS微压传感器设计与制备
《微纳电子技术》2024年第11期114-120,共7页张林 胡宗达 张坤 李宁 秦芸 
国家重点研发计划项目(SQ2023YFB3200276)。
针对微机电系统(MEMS)微压传感器无法同时提高灵敏度与线性度的问题,设计了一种新型的梁-膜结构,与常规的C型和E型结构比较,该结构具有灵敏度高、易加工的特点。根据所研究的量程,设计了压敏电阻尺寸和阻值。通过调整结构梁厚度、敏感...
关键词：微压传感器 梁-膜结构 高灵敏度 高线性度 低噪声 
3D层状木基微压传感器的制备及性能被引量：1
《林业科学》2022年第9期148-156,共9页王宁 张妍 夏兆鹏 刘亚亚 潘佳俊 刘雍 王亮 
国家市场监督管理总局科技计划项目(2019MK0002)。
【目的】将去除木质素、半纤维素组分的木材作为传感器骨架材料,研究其与导电聚合物的含固比对压力传感器感测性能的影响,为开发基于绿色天然材料的低成本、高性能传感器提供新思路。【方法】以轻木为原料,通过NaClO2、NaOH溶液两步法...
关键词：3D 层状多孔 木基气凝胶 微压传感器 高灵敏度 
基于PGA900的薄膜微压传感器研究
《电子产品世界》2022年第1期52-55,共4页鹿文龙 王刚 
本文基于溅射薄膜技术研制微压传感器,充分发挥溅射薄膜技术优势,通过改进芯体结构解决了输出灵敏度低的难题。使用PGA900信号调理器对薄膜微压传感器进行信号调理,通过内置算法实现传感器温度补偿和性能优化。经过试验验证,传感器的性...
关键词：PGA900 微压传感器 溅射薄膜 信号调理 
基于微压的消防员呼吸频率监测技术研究被引量：2
《消防科学与技术》2021年第11期1636-1639,共4页杜希 洪赢政 
国家重点研发计划课题(2018YFC0807606)。
简述并比较了消防员呼吸频率的主要监测技术及装置,设计了一套基于微压传感器的消防员训练用呼吸频率监测装置,对该装置的器件选型、结构组成、系统构建进行了阐述。该装置为口鼻罩式可穿戴装备,佩戴后可实时监测消防员训练时的呼吸频率...
关键词：消防训练 消防员 微压传感器 呼吸频率 
微压计量标准器现状分析
《中国科技期刊数据库 工业A》2021年第3期39-39,共1页王延昭 
微压计广泛应用与医疗,制药,食品,航天等领域,其测量的准确性直接影响人民的生活健康,因此微压计量在日常生活中非常重要,目前微压计量主要有三种标准器,本文分析了三种标准器在日常工作中的优缺点,给出了未来发展的方向。
关键词：压力计量 微压计 U型压力计 微压传感器 
转移石墨烯内部缺陷及其MEMS压阻式微压传感器研究被引量：2
《中国测试》2020年第12期9-14,共6页张琪 张栋梁 庞星 赵玉龙 
石墨烯受力后变形可以产生压阻效应,利用这个原理,制作石墨烯微压传感器。但是在实验中,发现石墨烯会产生诸多缺陷,进而影响石墨烯的压阻效应。因此,该文采用拉曼确认转移后SiO2基底上双层石墨烯的褶皱形成和缺陷形成很少。同时,采用XP...
关键词：石墨烯微压传感器 MEMS 石墨烯压阻 缺陷 RAMAN XPS AFM 
基于磁性液体粘度的水平磁性液体微压差传感器动态响应特性研究被引量：2
《传感技术学报》2020年第11期1544-1551,共8页谢君 李德才 张志力 
中央高校基本科研业务费人才基金项目(2019RC036);国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(51927810);红果园国家级科技委项目(18-163-21-TS-001-007-01)。
微压差传感器在工业和民用领域有着广泛的应用。基于前期设计的水平磁性液体微压差传感器结构模型,着重探讨了磁性液体的粘度对该传感器结构模型动态响应特性的影响,并建立相关的理论模型。本文中的水平磁性液体微压差传感器能够用于静...
关键词：磁性液体 微压传感器 传递函数 动态响应 
一种航空配套微压传感器芯片设计及制备被引量：5
《传感技术学报》2019年第7期1022-1026,共5页李闯 赵立波 王尊敬 徐留根 张磊 涂孝军 
博士后国际交流计划引进项目(博管办[2018]115号);中国博士后科学基金面上项目(2019M651934);2019年度江苏省博士后日常项目
针对航空领域微小压力测量需求,介绍了一种沟槽梁膜复合结构压力芯片的设计和制备方法。设计的压力芯片解决了传统硅压阻压力传感器灵敏度与线性度的固有矛盾,通过有限元分析可动膜片应力应变输出,并结合曲线拟合分析,提出了一种优化芯...
关键词：微压传感器 芯片设计 曲线拟合 灵敏度 非线性误差 
一种压阻式微压传感器芯片设计与实现被引量：8
《传感器与微系统》2018年第6期73-74,78,共3页吴佐飞 尹延昭 田雷 王永刚 
基于压阻效应和惠斯通电桥原理,设计了一种压阻式微压传感器;为了增大灵敏度,设计了一种折弯形的压敏电阻。从微压芯片敏感薄膜的设计、敏感电阻条的确定以及敏感电阻器位置的选取等方面考虑,设计了具有应力匀散效应的梁-膜结构并进行...
关键词：压阻效应 微压传感器 绝缘体上硅 梁-膜结构 
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