检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
作 者:赵鹏德 常琳[1] 李子宽 范正林[1] ZHAO Pengde;CHANG Lin;LI Zikuan;FAN Zhenglin(Zhong hao Cuangming Research and Design Institute of Chemical Industry Co. , Ltd. ,Dalian 116031,China)
机构地区:[1]中昊光明化工研究设计院有限公司,辽宁大连116031
出 处:《低温与特气》2021年第6期1-4,24,共5页Low Temperature and Specialty Gases
摘 要:三氟化硼是一种具有重要意义的高附加值电子气体,随着半导体产业的高速发展,对电子气体的纯度提出了更高要求,文中详细论述了三氟化硼合成制备及纯化的研究进展,以此根据实际生产制备条件,选择不同纯化方法进行提纯。Boron trifluoride is an important high value-added electronic gas,with the rapid development of the semiconduc-tor industry,higher requirements have been placed on the purity of electronic gases.The article discusses in detail the re-search progress in the synthesis,preparation and purification of boron trifluoride.In this way,acording to the actual production and preparation conditions,different purification methods are selected for purification.
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