三氟化硼制备及纯化进展  被引量:1

Research Progress on Preparation and Purification of Boron Trifluoride

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作  者:赵鹏德 常琳[1] 李子宽 范正林[1] ZHAO Pengde;CHANG Lin;LI Zikuan;FAN Zhenglin(Zhong hao Cuangming Research and Design Institute of Chemical Industry Co. , Ltd. ,Dalian 116031,China)

机构地区:[1]中昊光明化工研究设计院有限公司,辽宁大连116031

出  处:《低温与特气》2021年第6期1-4,24,共5页Low Temperature and Specialty Gases

摘  要:三氟化硼是一种具有重要意义的高附加值电子气体,随着半导体产业的高速发展,对电子气体的纯度提出了更高要求,文中详细论述了三氟化硼合成制备及纯化的研究进展,以此根据实际生产制备条件,选择不同纯化方法进行提纯。Boron trifluoride is an important high value-added electronic gas,with the rapid development of the semiconduc-tor industry,higher requirements have been placed on the purity of electronic gases.The article discusses in detail the re-search progress in the synthesis,preparation and purification of boron trifluoride.In this way,acording to the actual production and preparation conditions,different purification methods are selected for purification.

关 键 词:三氟化硼 电子气体 制备 纯化 

分 类 号:TQ117[化学工程—无机化工]

 

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