抗强激光损伤类金刚石(DLC)薄膜制备工艺  

作　　者：张立新 

机构地区：[1]不详

出　　处：《西安工业大学学报》2021年第6期672-672,共1页Journal of Xi’an Technological University

摘　　要：西安工业大学研究了利用脉冲电弧离子镀技术制备类金刚石(DLC)薄膜的工艺及方法,并对其抗激光损伤特性进行了分析测试,得出了该制备技术下DLC薄膜抗激光损伤阈值的最佳制备工艺条件和最显著影响因素;研究了非平衡磁控溅射技术制备DLC薄膜的工艺及方法,并对其抗激光损伤特性进行了分析测试,获得了此制备技术下DLC薄膜抗激光损伤阈值的最佳制备工艺条件和最显著影响因素;在分析论证薄膜激光损伤机理的基础上,研究了DLC薄膜抗强激光损伤阈值的测试方法与评价标准,对制备的DLC薄膜的激光损伤阈值大小进行了测试与分析;制备出了既能满足产品光学性能要求,又具有较强抗激光损伤能力的DLC激光薄膜。

关 键 词：激光损伤阈值 DLC薄膜 西安工业大学 激光损伤机理 光学性能 激光薄膜 制备工艺 制备技术 

分 类 号：TB383.2[一般工业技术—材料科学与工程]